一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计
提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转,从而实现二维开关功能的MEMS光开关.使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析,并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化.通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转,使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率,将制动电压降至18V.引入背面梳齿提高开关响应速度,模拟结果表明,光开关具有毫秒量级响应时间.与其他设计相比,该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点.
气动调节阀2种开关时间计算公式的比较及优化
对两种气动调节阀开关时间的计算方法进行了介绍和比较,通过计算指出两种计算结果之间的差异。在此基础上,根据最新的流通能力计算式,提炼出一种全新的开关时间计算方法,用以对气动调节阀的开关时间计算,是一种开关时间计算方法的理论依据。
渣锁斗液压开关阀开关时间的分析研究
详细说明了煤气化装置工艺流程中渣锁斗系统的功能、工作流程以及渣锁斗系统管线上液压开关阀的控制方案,并利用流体力学的基本理论阐述了液压开关阀开关时间的计算过程,分析了阀门在开车过程中开关时间不满足工艺要求的原因,计算了不同主管、支管条件下开关时间的收敛过程,从理论上解决了渣锁斗阀开关时间不达标的问题,并给出了解决方案。
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