对提高磁力研磨18CrNiMo7-6渗碳淬火钢外圆面表面质量的工艺参数进行研究。采用混合正交试验的方法建立混合正交试验表;以磁力研磨加工后的三维表面粗糙度值Sa为主要考察指标,通过极差分析和方差分析分别对混合正交试验的结果进行分析;NPFLEX三维表面测量系统观测工件的三维表面形貌。由混合正交试验结果得出,当碳化硅粒度号为400#、碳化硅质量百分比30%、铁粉粒度号120#、磁场强度0.6T、加工间隙2 mm、工件周向线速度0.2m/s时工件的表面粗糙度达到最小值0.033μm。影响磁力研磨加工18CrNiMo7-6渗碳淬火钢外圆面的三维表面粗糙度的工艺参数的主次顺序及较优组合为铁粉粒度号120#、加工间隙1 mm、碳化硅粒度号800#、磁场强度0.6T、工件周向线速度0.2m/s、碳化硅质量百分比35%。

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法,薄膜厚度的测量范围约在0.2～20 μm(小于20 μm)之间.在对二氧化硅薄膜的测试中,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较,其纵向测量误差小于2 nm.通过光纤传感器在薄膜上的移动,对薄膜上各点的反射光谱进行分析,得到各点的厚度.通过步进电机的移动,连续测量膜上不同点的厚度,从而获得薄膜的表面形貌.该方法对薄膜无破坏作用,且无需测量干涉条纹,与其他的非接触式测试方法相比较,具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点,因此有较强的实用性.

介绍了干涉显微镜测量原理，仪器结构，空间分辨率和测量范围，分析了测量误差产生的原因，通过实验表明，干涉显微镜能够比较真实地反映超光表面微观形貌特征，是超光滑表面微观形貌测量的有效工具。

介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.

为了研究摆线铣削加工方法下影响工件表面微观形貌的主要因素，采用不同切削参数进行了铣削加工实验，并结合功率谱密度法对获得的表面数据进行了更加全面的分析表征。实验结果表明：采用摆线铣削加工方式时，较大的径向切削深度有利于功率谱密度值降低，保证表面质量的同时，提高加工效率；每齿进给量和主轴转速分别和表面轮廓间距、加工振动联系紧密，影响表面凸起和缺陷；加工表面的主要频率分布能够反映加工工艺条件对加工表面形貌的影响。