<正> 1 国际上液压电子一体化技术的发展动态近年来微电子技术发展十分迅速,相继出现了集成度非常高的大规模集成电路、廉价大容量计算机。微电子技术向各个领域的渗透,及与其它工艺技术的结合,已成为各工业领域发展的主要导向。追溯发展的历史,日本最早开展微电子技术与机械相结合这方面工作,并取得了卓越的成绩,在国际上处于较领先的地位,而且首先提出“机电一体化”(Mechatronics)这一崭新术语。“机电一