对微细电火花圆柱电极损耗出现倒凹坑效应的影响因素进行研究。通常微细电火花电极损耗稳定后，加工端面为半球形，然而在特定的加工条件下，电极端面呈倒凹形状，微孔底端为山状突起，这种异常损耗会破坏电极形状精度而影响加工零件的尺寸精度。通过改变放电能量与放电间隙流体状态等微细电火花加工工艺参数，对比不同实验条件下电极端面形状损耗的变化情况，经检测，出现倒凹坑效应的微孔底端突起为电极材料沉积。实验研究结果表明：电极熔融沉积是电极损耗倒凹坑效应出现的主要原因。