为了满足低速高精度及位置控制系统的要求，研制了一种流量调节范围为10mL/min至10L/min的电控微小流量阀。一、电控微小流量阀的总体结构电控微小流量阀的节流阀主要有平板式和滑阀式两种结构。平板式节流阀（见图1a）利用两块相互压紧的平板所形成的节流口工作对流量的影响。减压阀采用滑阀式结构，并将减压阀阀芯与节流阀阀芯安装在同一阀套中（见图2）。