利用有限元法和边界元法相结合的方式,对I类凹筒结构弯张水声换能器进行了全面的分析。具体方法是借助于网格模型数据和计算结果数据共享的思想,将有限元法的结构、振动分析优势同边界元法的声场分析优势互补起来。相关试验表明,这种相结合的分析方式更全面、准确,是对水声换能器性能分析和优化设计手段的有益完善。

针对目前光谱仪器微小型化的几种典型方案在实用化中所存在的几个关键问题,提出了一种以固态介质为基底,利用固态介质的材料色散及结构尺寸的合理匹配,对系统的子午场曲进行补偿,以解决光谱探测中谱面平直、光谱线性分布、光线相对探测面为正入射、避免零级谱和负一级谱干扰等一系列问题的光谱仪器微小型化的方案。通过结构与参数的优化设计及计算机模拟显示,该方案达到了预期的设计目标。

描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辩率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于我层陶瓷电容器的无损检测。最后给一些样品的声学像。

微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件，这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况、技术趋势及市场预测．

设计了一种基于并联机构的压电式六维加速度传感器,推导出传感器结构参数与灵敏度间的关系表达式。利用软件机械系统动力学自动分析（ADAMS）对解析计算公式进行校验,仿真结果与计算结果相吻合,两者相对误差不超过0.055%。通过参数化分析得到传感器结构参数对其灵敏度的影响：线加速度灵敏度仅受传感器中心质量块的质量影响;角加速度灵敏度受质量块的质量、边长及共面上2个铰支点间的距离影响。上述结论为六维加速度传感器的结构设计提供了理论依据。

基于超声波测距原理，设计了一种外置式超声波液位仪。用于对存储在密闭容器中易燃、易爆、易挥发、强腐蚀有毒液体的液位进行检测。该仪器可实现接触、非接触、定点和连续测量。

针对气体检测中分光应用的闪耀光栅，该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂（PMMA）薄膜，采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅，通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性。研究表明，通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印及后续工艺可得到具有高保真性的微闪耀光栅，而这种方法所获得的闪耀光栅与传统方法加工的闪耀光栅相比，在效率、成本方面均具有较明显的优势。

力矩器工作气隙磁性能是石英挠性加速度计磁路设计的关键。利用有限元分析软件ANSYS,对采用稀土永磁材料的力矩器磁路磁通分布进行了仿真分析,并在此基础上进行了磁路结构的优化设计,提出了一种锥形磁钢结构。有限元分析结果表明,锥形磁钢的磁路结构使工作气隙磁场更均匀,可提高加速度计的线性度。

针对常规无损检测方法只能对管道静态缺陷进行检测的问题，该文研究了基于声发射的压力管道动态缺陷检测方法。在实验室条件下，对一条长15m、直径φ100mm的不锈钢管道进行了裂纹检测及定位实验，研究了声发射波通过不同管道特征（如焊缝、法兰、支路、变径）时的衰减情况，以及特殊管道附属结构对缺陷定位的影响。并分别采用定时参数补偿、实测波速补偿和衰减特性补偿等方法对缺陷定位计算结果进行了修正。

S型微弹簧是一种在微机电系统中应用广泛的微弹性元件，利用力学分析法，首次推导出S型微弹簧在空间3个方向上的弹性系数计算公式，ANSYS仿真验证了公式推导的正确性。采用LIGA工艺，设计加工了一种金属镍S型微弹簧。用精密微小型计算机显微测量仪测量得到微弹簧的线宽，长度和厚度与设计值的误差分别为4μm、50μm和24μm。分析了微弹簧各个结构参数的加工误差对微机电系统（MEMS）微弹簧力学特性的影响．指出微弹簧线宽的加工误差对其力学特性影响最大，Tytron250微小力拉伸实验机实验验证了结论的正确性。