用于半导体、液晶显示器检查的欧林巴斯显微镜

　　日本欧林巴斯公司是以生产各种显微镜为主的专业公司，同时还生产具有超精密机械技术的微型机器人、具有超高性能电子技术的超声波显微镜和具有超高精度光学技术的步进光刻机镜头。该公司成立于1919年，现有职工1.2万人，在本国和世界各地都设法人公司，日本37个，欧洲21个，亚洲6个，美国4个，1993年销售额2700亿日元，成为世界四大显微镜公司之一，其中本国占30%，海外占70%。该公司生产的高、中、低档显微镜占世界显微镜市场的40一50%，占中国进口显微镜市场的60%。超声波显微镜、红外显微镜和共焦激光扫描显微镜是该公司具有开创性和独特的产品。

　　1工具显微镜

　　工具显微镜即测量显微镜，型号有STMS一UM、STMS一LM、STMS、STJ、MTM25o、MTM250ES和LMM25o。以LMM250为例，扫描范围250(X)X225(Y)X75(Z)mm，可重复性，X:105+l0SL/250um，Y:1.5+1。SL/125um，Z:1.5十1.5L/75件m，L为测量长度。最大样品重量30kg，显微镜尺寸1140(长)x830(高)+850(宽)，重390kg，测量结果用mm或英寸显示。

　　2光电显微镜

　　光电显微镜新型号为PM30/PM20型，带照相机，液晶显示。以PM30为例，它有三个测量区域，0.1%点测量，1%点测量，30%场测量。照相机为35mm照相机，LCD(液晶)显示屏为320X240点矩阵。

　　3立体显微镜

　　立体显微镜型号为52系列，包括SZll45C要工l、SZll45TRPT、SZll45TRCTV、521145、526045CHI、526045TRPT、526o45TRCTV、526045、524045CHI、524045TRPT、524045TRCTV、524045、524060和523060，最新型号SZH10系列，包括·SZHio一121、SZH10一121、SZH]0一131、SZH10一141和SZH10一151。

      4显微镜自动报运器

　　显微镜自动搬运器是显微镜自动测量硅圆片的必备装置，型号AL系列，包括AL一IMBL、AL一MBL、AL一IBLS、人L一IBL、AL一IMBLS和AL一MBLS，可搬运4、5、6和8英寸圆片，最新型号为AL100，可搬运6和8英寸圆片，搬一个圆片时间小于2秒，机械手可正反面搬运，即可观察正反面圆片。搬运器的载物台可旋转360度，搬运器MTBF为4000小时。

　　5金相显微镜

　　金相显微镜型号为BX系列，包括BX60M、BX60、BX30M和BX30MD等。以BX60M为例，显微镜架有高灵敏度焦距调节器，最小调节焦距1um，焦距冲程25mm，物镜视野为F.N.22，宽视野为F。N。26.5，内光孔距离50~76mm。

  6检查Ic画片和LCO的新型显微镜

　　这种显微镜的型号为BH3一MJL，可观察IC和LCD两种实物。对于IC有6x6英寸、8XS英寸平台，可观察6英寸、8英寸圆片以及5英寸、7英寸掩模板。对于LCD有10x6英寸、12xs英寸、10xi0英寸和14X10英寸平台，可观察17英寸LCD。最大物镜为25oX。产品有记忆功能。