对接触式干涉仪检定规程第19条规定的探讨

　　1　问题的提出

　　由于新的二等量块测量不确定度要求的提高,接触式干涉仪只能检定三等及其以下的量块。现在使用的接触式干涉仪检定规程是《JJG101—81》,其中示值误差检定用的是老二等量块,而新的量块检定系统《JJG2056—90》和量块检定规程《JJG146—94》中,没有这种等级量块。在满足接触式干涉仪检定三等量块的前题下,探讨用新的三等量块检定接触式干涉仪示值误差。

　　2　接触式干涉仪示值误差的检定误差分析

　　根据规程《JJG101—81》中规定,接触式干涉仪示值误差采用10块组量块配对法检定,数据处理按下式进行

　　其中　δ———该受检点的示值误差;

　　∑ri———读数值总和(采用偏差带正负

　　号);

　　Ln———最后一块量块的实际尺寸;

　　L1———第一块量块的实际尺寸;

　　n———使用的量块总数。

　　根据误差理论,对上式偏微分可得其检定误差

　　2·1　dri由下面各项误差组成

　　(1)量块温度与标准温度的影响,由于同一组量块一般材质都相同,配对时的两量块实际尺寸相差仅2μm左右,故可忽略不计。

　　(2)温度波动的影响,由于有同(1)相同的原因外,一般操作时间极短,故可忽略不计。

　　(3)量块的几何形状对测量结果的影响,由于量块两测量面的不平行,允许有一定长度变动量V,在用1mm左右的量块配对检定时,仪器的球面测帽顶点对量块中心有一个偏离量r (一般<1mm),得到的量块长度就不是真正的中心长度,其引入的误差　δV=±2V/3·7

　　(4)仪器示值的变化量,根据规程《JJG101—81》δ稳= 2×0·02μm　(配对时两次读数)因此　dri=δ2稳+δ2V

　　由于10块量块配对法,共需9个彼此独立的同样的测量过程,因此

　　dLn和dL1分别为最后一块量块和第一块量块的测量不确定度,两者尺寸差为8μm,查规程中量块的测量不确定度:

　　故δ的测量总不确定度

　　现将二等量块和三等量块分别作为标准来检定接触式干涉仪示值误差:

　　用2等量块时

　　用3等量块时　Uδ3=±0·028μm

　　2·2　根据参考文献[1],接触式干涉仪示值误差U仪主要由下面各项误差组成

　　(1)定标误差,即定分度值时K条干涉条纹所占格数不准确引起的误差,约为0·0005n

　　(2)波长误差,即所使用的波长值与实际波长值不符引起的误差,约为1·7ni△λλ