具有均压槽的孔式供气空气静压轴承设计

简介

建立了具有均压槽的孔式供气空气静压轴承模型，提出了一种均压槽边界处理方法。以该方法理论计算结果为指导，设计了一套小型的具有均压槽的孔式供气空气静压轴承。对该轴承进行的性能测试表明：径向跳动小于0.1／μm，径向刚度约为20～30N／μm。