二维解耦微位移工作台的设计和有限元分析

简介

文中设计了一驱动器固定的二维解耦微位移工作台。根据所选微位移驱动器和微位移工作台空载达到最大位移时所需的驱动力，得到微位移工作台的理论设计刚度值，据此对微位移工作台进行设计，然后对其进行有限元计算，求得微位移工作台刚度的有限元计算值，刚度的理论值和有限元计算值吻合得很好，并且很好地解决了运动耦合问题，定位精度高。