提出一种新型声光波导相位调制技术,用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制.相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上,工作波长为1.3 μm.主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计,结果为:氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003 mm,叉指换能器叉指对数N=17,中心距l=27.19 μm,中心频率f0=48 MHz,中心指长L0=4.46 mm.

提出一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器。对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计，采用K9玻璃作为基底层和包层材料，Bak7玻璃作为波导层材料，波导的宽度为4μm，厚度为0．4μm。M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲。为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构，应用波导转向镜实现了大角度光路转折，反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现，并利用BPM进行了仿真。为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化，加了1个长度为1mm的TE模偏振器以保持其偏振态。实验结果与理论相符。

提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.