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标样气体进样系统
作者:
冯焱
李得天
马诗龙
郭美如
沈辉
来源:
真空与低温
日期: 2023-02-27
人气:5
标样气体进样系统用于质谱计的标样气体校准,以获得准确的测量数据.介绍了标样气体进样系统的结构、工作原理及进样方法,给出了标样气体配置的不确定度分析和测试结果.
关键词:
标样气体
进样系统
质谱计
校准
真空计
校准装置
不确定度
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