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新型复合结构电热微驱动器的研制

作者: 曾文光 丁桂甫 王艳 付世 蔡玉丽 来源:传感器与微系统 日期: 2022-06-24 人气:3
新型复合结构电热微驱动器的研制
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。
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