提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路，其结构设计简洁紧凑，光路布局对称性好，光程差倍增，符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系统精度在理论分析的基础上进行了估算，得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1．8nm。采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测，利用线性回归的方法对测量结果进行处理。试验结果表明：该干涉测量系统的精度约为14nm。

在激光干涉测量中，通常以相位差为90°的两路信号进行辨向计数和细分，而在这两路信号中普遍存在着非正交误差、不等幅误差和直流电平漂移误差，这些误差的存在严重地影响了测量结果的精度。因此，设计了以C8051F单片机为核心的电路补偿模块，采用以Heydemann模型为基础的误差修正方法，对以上3种误差进行了动态补偿，进而实现了纳米级精度的位移测量。