在硅微机械加工中,封装加工是非常重要的一个过程,对微机械器件实现真空封装后可以极大的提高它的灵敏度等各项技术指标,但目前国内对微机械传感器真空封装技术不成熟.本文主要讲述对陀螺采用玻璃封装时,用于封装的玻璃罩子的加工过程以及玻璃罩子在整个结构中所起的作用,同时叙述了玻璃罩子与微机械结构的键合过程.

主要针对捷联惯导系统中对加速度计信息处理的高精度要求,介绍了基于高精度A/D的对石英挠性加速度计数据进行采集的设计,完成了系统的软、硬件设计。设计采用了高精度A/D转换芯片AD7691和FPGA芯片XC3S500E来完成系统功能,在详细阐述硬件设计的基础上,对软件设计进行了相应的介绍。

针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足，根据电子隧道效应的特点，设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪，运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真．把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测，结构简单，功耗低，抗干扰能力强，可靠性好，线性度高，具有很高的灵敏度，尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势．