为改善玻璃纤维增强塑料(Glass Fibre Reinforced Plastics)的切削加工性,提高加工精度和质量,采用超声波振动切削的方式对GFRP进行了精密切削加工.介绍了超声波振动切削的特性和GFRP的纤维束与切削速度方向的相位参数,相位参数沿圆周方向成周期性变化,变化周期为π.通过实验获得了不同切削条件下表面粗糙度的变化规律,粗糙度随相位角变化基本呈正弦规律,但在45°时粗糙度最大.振幅增大导致粗糙度明显下降.切削速度对粗糙度的变化曲线呈极值状态,在速度为100 m/min时粗糙度最小.进给量小于0.06 mm时,粗糙度呈下降趋势;大于0.06 mm时,粗糙度增加较快;而大于0.09 mm后粗糙度上升趋缓.切削深度对粗糙度的影响呈单调上升趋势.实验结果表明超声波振动切削可以使GFRP的加工表面粗糙度减少1倍,使加工质量得以提高.

对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述.介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用.指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化.只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展.