氢、氮、氧、氩等气体的纯度分析技术已成为一门专业分析技术,它在冶金、半导体、集成电路、电真空、化工和医学等部门有着广泛的用途。分析手段和水平的提高将推动这些部门生产效率的提高和产品质量的提高,目前超纯气体纯度的分析,以色谱仪为主,少数场合应用了色谱-质谱联用仪。近来开始注重用电子碰撞离子源的质谱仪器进行气体纯度分析,它具有快速和全成分分析的优点,并

为推动真空四极质谱计的应用，现提出一种用户实用、性能稳定可靠、价低的真空质谱计设计方案，１）按超高真空和高真空要求分开设计质谱管；２）采用公差一致性组装四极杆；３）采用粗、长四极杆；４）充分利用离化室的高压强工作能力；５）内藏式离子流放大器；６）增强仪器电路的实用功能。最后举例了一台溅射镀膜机监控质谱计，无须配置质谱计减压真空系统和微机等辅助设计，就能进行正常气氛监控，其总投资只需常规设计的三分之