介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.

介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.

本文以龙门移动式镗铣床的同步传动问题为背景进行研究,采用两台相同的直线电机作为龙门柱纵向同步进给的驱动机构。刀架在横梁位置变化会引起的立柱两边等效惯量的变化,这将会破坏输出的动态同步性能,为此,采用负载动态补偿方法调整比例增益,使两台电机保持同步。同时引入模糊PID控制器作为速度调节器,有效的利用了模糊控制不完全依赖对象模型,控制迅速、鲁棒性好的特点,从而提高了同步控制精度。仿真结果表明,所提出的方案是十分可行的。