介绍一种新的原子发射光谱微型电感耦合等离子体（ICP）激发源,阐述这种激发源的结构、性能及其在光谱仪中的应用,它与平面结构的微型Fabry-Perot光谱仪联用可以作为微型气体分析仪使用。并简要介绍作者研制的在较低的13.56MHz下工作的微型ICP激发源。展望随着MEMS技术的发展,微型光谱仪的应用前景。

本文简要介绍了一种采用微结构平面螺旋线圈的新的ICP（电感耦合等离子体）光谱激发源。作者设计加工出的基于PCB（印刷电路板1镀金工艺的微型ICP激发源在13．56MHz下成功启燃，并给出了ICP火炬照片。详细介绍了作者研制的微型ICP激发源的平面螺旋电感和交指电容的参数设计方法，给出了设计版图和实物照片，微结构线条宽度和间隙在数百微米量级。展望了平面螺旋电感和交指电容在微型ICP激发源的中的应用前景。