针对孔径(100~200)μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,提出一种基于丙烯酸环氧树脂双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过工艺参数优化后,利用所制备的侧壁绝缘电极,开展加工对比实验,结果表明双极性电泳法所制备的侧壁绝缘层,具有较高的致密性、均匀性、耐久性和一致性,其性能符合微细电解加工对电极侧壁绝缘层的特殊要求。最后,在500μm厚304钢片上加工出入口约168.4μm、出口约165.8μm、锥度约为0.15°的高深宽比微细孔,其锥度降低了约60%以上,基本为直孔,可满足实际需求,进而验证了本方法的应用可行性。

针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数及影响因素进行了分析.该机构不含任何旋转部件,利用单晶硅微梁的弹性变形来实现微位移的放大,采用深层反应离子刻蚀技术将整个机构制作在硅隔离衬底上,并把它置于40%的HF溶液中使其成功释放.对集成加工在同一衬底上的电热微执行器进行了性能测试,测试结果表明,在没有优化的条件下,加工的两级微型杠杆机构在14 V工作电压下的放大倍数为18.9倍,输出位移达到36 μm,测试结果与仿真结果相吻合.

MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键.本文探讨了MEMS微针的研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题.

为了提高微驱动器的性能，提出了一种在氧化铟锡（ITO）玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法．在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶，用常规的接触式曝光法，将光刻掩模上的二维图形转移到A二4620光胶层上，显影后利用ITO玻璃的导电性，在AZ-4620光胶曝光处电沉积镍，原掩膜图形可保真地转移到ITO玻璃表面的镍镀层上，使紫外光透过ITO玻璃基底进行反面曝光，从而保证了光刻掩模与SU-8光胶层间的完全接触，消除了厚光胶层表面不平在曝光时的散射和基片材料的反射影响，成功制备了深宽比为16、侧壁垂直度为89．5。的微结构．本方法使用设备简单，加工成本低．