介绍了用NTC热敏电阻器进行高精度温度测量的几点考虑.分析了影响测量精度的各种因素,并提出了一些解决方法,主要的措施有:直流恒流源微安级电流;四线制测量电路;高分辨力(24位)ADC;数字滤波;仪器自校准等.实际测量表明:使用恰当的热敏电阻器在较窄的范围内(0～60℃)测量精度可达±0.001℃.

系统用自聚焦透镜代替共焦扫描显微镜中的聚焦透镜,将自聚焦透镜体积小的特点与共焦显微技术的轴向高分辨力和绝对位置跟踪特性有机结合,具有测头微小型化,高的轴向分辨力、较大倾斜表面的瞄准能力、对突跳位置的绝对跟踪能力等特点.选用PZT作为轴向扫描驱动元件(线性范围±5 μm,每个脉冲2 nm进给),用高精度电容位移传感器作为位置跟踪元件(线性范围±5 μm,分辨力1 nm).对20°角度块进行测试实验表明,在测头直径为1 mm的情况下,系统对20°倾斜度以内的斜面轮廓的探测轴向分辨力可达10 nm.

针对目前光电自准直仪难以做到既有高分辨力同时又有大的测量范围的不足，提出一种成像式光栅自准直测角方法。该方法将成像式光栅方法、自准直测角技术相结合，利用标尺光栅像和指示光栅形成的光栅副反映被测物体的角度变化。试验结果表明，该系统接收到的光栅信号稳定，满足光栅计数的要求，成像式光栅自准直测角方法原理可行。该方法避免了光栅副间隙带来的误差，具有大量程及较高的分辨力。

水晶温度传感器是根据水晶晶体的谐振频率随温度变化而变化的原理而设计的.因此根据水晶传感器的这一特性只要准确的测出传感器的频率,通过频率与温度的对应关系就可测出温度值.而就这种水晶温度传感器本身的特性来说,它的测温灵敏度不高,大约是1 HZ/oC左右,为了提高测量温度的分辨力,本设计中数据处理主要分成为提高分辨力的软件倍频处理,和进行非线性补偿的分段线性化.

要提高自准直仪的准确度,首先要提高分辨力。为了能有效地提高分辨力,采用了在自准直仪光路中加入放大光路,对自准直像及其位移量进行放大的方法。通过样机研制,自准直仪的最小显示值达0.001″,含示值跳动量的分辨力小于0.005″,在±10″测量范围内的示值误差为±0.01″,在±50″全量程的示值误差为±0.02″。自准直光路中增加光学放大环节,能有效地提高自准直仪的分辨力,而且对静态和动态数字式自准直仪都能适用。

从理论与实际方面研究了获得高分辨力场发射电镜（ＦＥＭ）的条件，认为在适当的场强及温度下０．２ｎｍ的分辨力是可以达到的，这与当前认为的ＦＥＭ分辨力只能在２ｎｍ上下高一个数量级．我们称这种显微镜为高分辨力热场发射显微镜（ＨＲＴＦＥＭ）．利用这种显微镜，我们研究了Ｗ尖端上Ｚｒ原子吸附情况．这种吸附Ｚｒ的Ｗ尖端是用于Ｓｃｈｏｔｋｙ发射阴极的尖端，是由Ｗ（１００），Ｗ（１１０）及Ｗ（１１１）单晶经化学腐蚀为０．５μｍ曲率半径的尖端后再涂上Ｚｒ而制成的．从ＨＲＴＦＥＭ的结果表明，吸附在Ｗ尖端上的Ｚｒ原子表现为一些亮点，Ｗ（１１１）方向上的Ｚｒ原子有规则的排列成等腰三角形，但在Ｗ（１００）及Ｗ（１１０）方向上则没有明显吸附，因此我们认为，作为Ｓｃｈｏｔｌｋｙ阴极，Ｗ（１１...

介绍了一种基于连续的抽运-探测光相关的布里渊分布式光纤传感器新技术,该技术采用频率调制连续的抽运光和探测光,通过检测沿光纤的后向布里渊散射光的频移实现温度和应变的分布式测量,其空间分辨力可达1cm,比常规基于脉冲抽运光的布里渊光时域分析仪(BOTDA)技术的分辨力高近两个数量级.还结合常规BOTDA讨论了该新技术高分辨力的优势和测量范围受限制的不足.

由于CMOS、CCD探测器的广泛应用,及其分辨力的提高,人们对视频显微镜的分辨力提出了更高的要求。分析了大视场视频显微镜的像差特点,并利用光学设计软件Zemax进行光学效果的模拟,给出了数值孔径0.05,光学放大倍数0.25,视场直径为31mm,分辨力200万像素光学系统的设计结果。