提出一种双轴电容式微机械加速度计的结构形式．采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度，设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦，且结构稳定性好，以梳齿电容实现差动的静电驱动、电容检测．利用MATLAB软件对敏感结构参数、性能参数进行了计算、分析，用ANSYS仿真软件对敏感结构进行了静态和模态分析，从理论上验证了所提出的双轴电容式微机械加速度计整体结构的可行性．

谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计。提出了一种谐振式微机械加速度计结构,进行了结构的优化设计和仿真计算,得出的性能指标：谐振频率98858Hz,Q值673.9,灵敏度24.52Hz/gn。

本文介绍了一种由微机械加速度计做测量单元、单片机作控制单元的系统.该系统体积小、精度高、稳定可靠,利用它对抽油机进行测量和控制,可以达到提高效率、降低生产成本等要求.

硅微谐振式加速度计是一种高精度的惯性传感器,它通过谐振梁刚度随惯性力的变化检测输入加速度的大小。为了得到较高的标度因数,国内外的研究机构普遍使用微机械杠杆机构来放大惯性力,但实验中微机械杠杆往往达不到理想的放大倍数,尤其是多级杠杆对力的放大作用非常有限。结合国内加工条件,微机械杠杆力放大机构的模型被合理简化,使用有限元分析运动模态的方法,分别计算微机械杠杆、检测质量支撑梁以及谐振梁的刚度,并按此仿真计算结果估算微机械杠杆的力放大倍数。通过理论推导、ANSYS仿真和对微机械杠杆实验的结果验证了这种方法的正确性。为分析微机械杠杆实际的力放大效果提供了一种实用方法,并基于此方法提出通过提高输出刚度来提高微机械杠杆力放大倍数的方法。通过对杠杆结构的优化,可将原有3.9倍的杠杆放大倍数提高到

简要回顾微惯性测量组合技术的发展和应用，结合目前我国的发展水平和技术条件，从应用的角度特别是军事应用方面分析了微惯性测量组合在应用过程中需要解决的主要问题和关键技术。文章最后指出了发展我 国微惯性组合技术的道路是在有限的资金内以选定应用对象和应用环境为基础，走应用与研制相结合的道路以应用促研制。

文中介绍了扭摆式硅微加速度计的结构原理和对其进行最大灵敏度优化设计的方法，计算结果表明，对硅微速度计的结构参数进行优化，可以最大限度地提高传感器的性能。

本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真．这种框架结构可以有效地增大结构静态电容，以便在闭环工作时能产生更大的静电力．它的整体尺寸为2800μm×3000μm×60μm，结构惯性质量为0．14mgn，静态电容为3．618pF，抗过载能力超过5000gn．通过系统仿真，该加速度计的电压灵敏度为90mv／gn，量程为±50gn，系统带宽是10kHz．

测量范围上限设计一直是高gn值微惯性引信研制的一个难题,对差动电容式微加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明按同一比例尽量减小封装间隙和电极面积,使得受限于临界偏压的外加偏压取值刚好能提供需要的量程,同时使用质量块减薄和打孔并用的方法来提高最大量程,所设计出的加速度计可具有70 gn以上量程.