基于高频信号相位测量原理．提出了S波段相对论速凋管放大器相位测量的方法。对S波段800kW速调管放大器进行了验证实验．并测试了S波段相对论速凋管放大器的相位。实验结果表明：速调管输入和输出微波相位差随束压升高而减小．随束流升高而增大，微波相位差不随注入微波功率大小和磁场变化而变化。

采用“填脉冲式”相位测量方案设计的测相卡，可以测量信号在某一时刻的相位，并可以实现计数功能；对于频率不大于１０ｋＨｚ的信号，相位测量误差小于０．１°；对１ｋＨｚ的信号测量实验表明测相卡的单次测量精度为０．０４５°；文章分析了主要的误差因素，并指出了设计中的注意事项。

介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。

在傅里叶测量轮廓术中，由于CCD探测器积分离散抽样效应，将对相位的求解造成较大误差，通过理论的推导定性地解释了误差的来由，并用计算机进行了模拟计算，最后提出了减小误差的方法。

针对光栅投影三维测量技术的原理进行了综述，并就国内外的发展和应用状况，对测量中的关键技术，如相位测量、解相位、面形连续性、数据配准和拼接等进行了分析，说明了该测量方法的优越性。

外差信号处理系统是外差干涉测量系统精度测量的重要组成部分。为了实现外差干涉的相位移测量，采用一种整数计数和小数计数相结合的外差信号相位测量方法，利用VERILOG语言编写整数计数以及小数计数模块程序，并进行了仿真验证，理论分析测量分辨率为（11π／375）rad。结果表明，该方案硬件实现电路简单、可移植性强，只需一个基于现场可编程门阵列的最小系统即可实现。

对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提.以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测.在外差信号处理中采用单片RF/IF相位测量芯片直接对两路40MHz模拟信号进行比相,简化了通常使用的数字测相方法,其精确测相的典型非线性值小于1度.用该系统实际测量了周期性振动和地面冲击振动对干涉仪的影响,获得了干涉仪所受微振动的幅度和相位.

在线检测硬盘磁头飞行高度（FH）是高密度磁存储技术商品化的重要环节。提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法,用于在线检测磁头飞行高度瞬态调制变化。采用横向塞曼激光器作为外差光源,结合高速相位测量技术,可实现对磁头飞行高度高分辨率（0.1 nm）,高采样频率（100 kHz）直接在线溯源测量。通过对称布局的两路差动干涉仪结构,系统能自适应补偿环境振动等扰动引入的随机误差以及盘片复杂运动引入的阿贝误差,还可兼容透射式玻璃盘片模拟条件下的硬盘磁头飞行高度的测量。结果表明,当盘片的偏摆在1.2μm时,系统可清晰描述小于10 nm的飞行高度调制现象。

本文分析了传统的相关方法在涡流无损检测中的应用，并对其进行了仿真，给出了这种方法的误差来源，而后介绍了一种更能对噪声起到抑制作用且工作性能稳定的改进方法。