具有三自由度的微位移器的组成为：掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0．15mm的二个同心圆环，用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上，铜片的中央焊有一根长100mm，直径Ф2．5mm的铜杆，其端头安装一个由陶瓷片做成的小平台，作为微位移器的工作台。在外圈的PZT陶瓷环被四等分成四个彼此分开的扇形，其中相邻二个扇形的极化方向与中央PZT陶瓷环的极化方向相同，其余两个扇形的极化方向则与此相反。中央陶瓷环和极化方向不同的二组陶瓷扇形分别同3个直流电源相联。通过适当变化加在三组压电陶瓷上的电压，引起压电陶瓷变形，从而使与之相联的铜片发生弯曲形变，带动其中心铜杆顶端的平台，使之既沿垂直方向（z轴）移动，又围绕z轴作x，y方向的运动。

对基于数字增量PID算法的压电微位移器驱动控制系统进行了理论分析和开发研究,提出了基于数字增量PID算法的压电微位移器控制系统的设计方案,并利用通用计算机及数据采集板对其进行了开发,最后将该微位移控制系统用于基于压电堆驱动器的机械手手指张合运动控制系统中,取得了良好的控制效果。该微位移器控制系统具有实现简便、控制效果好、通用性强等特点,可广泛用于各类基于压电驱动的微位移器位移控制系统中。

由弹性薄膜和电致伸缩微位移器构成的微进给定位机构，将在超精密加工和测试装置中得到广泛的应用，本文给出了该种结构的设计方法并对其性能进行分析。

针对压电陶瓷微位移器的非线性问题进行了深入的研究，提出了使用该方法可以将压电陶瓷微位器的非一性度从２５％降到４％，这是一种简单，方便，可靠，成本低的非线性补偿方法。文中对压电陶瓷位移器的非线性机理做了深入的研究，并给出一个基于ＩＢＭ４８６计算机与ＭＣＳ９８单片机以及测试试验台组成的一个完整的试验系统。

提出一种微位移器的在线测试方法，记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图，截取每幅图中位置相同的一条线，建立干涉图截线法光强数学模型，然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子，通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值，再通过相位解包就可得到微位移器的电压一相位曲线。并在本教研室研制的一台斐索干涉仪上进行了实验，实验结果表明：该方法克服了传统方法速度慢，精度低，标定和在线测试条纹疏密状态不一致的不足，简单易实现，运算量小，迭代次数适中，实时性强，可作为干涉测试中微位移器的在线测试方法。