概述了量热式质量流量计的工作原理及其特点，着重讨论了在具体使用中的关键技术问题。

介绍了一种量热式质量流量计的原理，并较详细地说明了用于氟化氢质量流量测量流量计的结构、测试与应用。该流量计可用于其它气体质量流量的测量。