随着对高精度光学元件的需求不断增加,对光学检测精度的要求也随之提高,合理可行的检测方法对光学加工的发展至关重要.本文在已建立好的点衍射干涉仪的基础上,对仪器的调整进行分析,提出合理的调整方案,得出被检波面面形的干涉图.该干涉仪由光纤直接提供高精度的参考波面,与被检波波面发生干涉.其特点是结构简单合理、易于调整耦合输出、条纹记录迅速、受外界环境影响较低、引入误差较小,有利于进一步的拟合分析.

设计了一种新型的麦克尔逊干涉仪,因其干涉图状如牛眼,故称为'牛眼'型麦克尔逊干涉仪.它以两个球面反射镜代替了原有的平面反射镜,使得干涉加强,干涉图更清晰,同时省去了成像透镜,使系统体积紧凑,便于调节.应用这种仪器探测入射激光,对采集的干涉图进行条纹提取和细化后,可推算出入射激光的波长和入射角.实验对632.8nm和532nm的入射激光进行了测量,波长测量的相对误差分别为5.72%和3.91%.