在微系统技术与毫微工艺的年代，毫牛顿（mN）与微牛顿（μN）范围内微小力的测量与可再循环性越来越受到重视。一些典型应用有原子能显微术、坐标量测量仪、描刻器和硬度测量装置；在通常情况下，这些仪器是以周期触及法测量出试验试样的机械性能和囚次测量值。为了前段表面没有不可逆地变形或在极端情况下没有损坏，随着试样结构越来越微型化，触及力也须减小。

从提出＂微气动技术＂,到引入＂微系统技术＂这一概念,揭示了气动技术跌宕起伏的发展之路。如果说＂微气动技术＂概念的提出只是对气动元件低功耗、微型化的一种憧憬和追求。那么＂微系统技术＂则表明人们对气动技术己有了更深刻的认识,气动技术作为一门自动化控制技术不能孤立发展,必须融合到自控技术的发展规律中,与其他控制技术、元器件,进行互补、互相融合,只有这样做才能使气动技术得以广阔的发展。