设计了一种应用于以数字微镜为核心器件的光刻系统中的紫外光刻光源。提出了设计过程中需要注意的散热、快门、位置调节等事项,并针对性的对光源进行了详细设计。

本文研究了采用组合模糊控制器实现液压缸行程位置伺服控制。按系统特性选定两个标准模糊控制模块组合，调节液压缸活塞杆快速准确定位。采用这种设计方法简化了设计过程。该方法对液压气动领域中位置、速度控制系统设计具有参考价值。