无阀微泵原理新颖，但压电式无阀微泵工艺复杂。介电弹性体是具有大变形的智能材料，采用图像处理的方法对其变形特性做了测试，并利用其特殊性能研制了介电弹性体无阀微泵。从流道设计、尺寸、流量和效率3个方面研究了介电弹性体无阀微泵，得到流量为142.12mL/min，效率为0.738的介电弹性体无阀微泵。其特点是原理新颖、结构简单、流量和效率理想。

微泵作为微流体系统中关键的执行器件，是微流体系统发展水平的重要标志。该文分析了近年来国内外出现的典型机械式微泵和非机械式微泵的工作原理、结构组成、优缺点，论述了微泵的加工制作技术以及国内外研究现状，最后对微泵的发展前景作了展望。

针对由超磁致伸缩材料驱动的微泵体积大、流量小的问题提出了一种用于精密输液的基于双平面线圈驱动的GMM薄膜新型微泵采用双平面螺旋线圈作为驱动部件并设计双泵腔以减小微泵的体积、增大微泵流量.该研究对新型微泵结构原理、制备工艺和输出流量进行了分析结果表明该新型薄膜微泵具有输出流量大、尺寸小、易于微型化、响应速度快和精度高等优越性能为微流体机电系统的驱动提供一种新的动力装置.