为提高气浮支承承载力和刚度,设计了一种梯形均压槽表面节流气浮支承。建立梯形均压槽气浮支承流场的CFD模型,进行数值仿真。研究了梯形均压槽的半径、深度、数目、角度和供气压力对静压气浮支承静态特性的影响规律。结果表明:梯形均压槽可以提高气浮支承的静承载特性;在相同气膜厚度下,气浮支承的承载力随梯形均压槽深度、数目、角度、半径及供气压力的增加而提高;刚度随着均压槽深度、数目、半径及供气压力的增加而增大;刚度峰值所对应的气膜厚度随着均压槽的半径、深度、数目增加而增加。因此,合理设计均压槽可以有效提高气浮支承的静态性能。

液晶玻璃基板在线检测过程中对玻璃板在垂直方向上的变形量有严格的要求,为了确定在指标要求光学检测精度下的喷嘴间距。本文基于弹性薄板的小挠度弯曲理论对气浮支承下的液晶玻璃板进行理论分析,推导出液晶玻璃薄板在吹吸喷嘴作用下的最大挠度计算公式,分析得出最大挠度与通孔间距的二次方、载荷集度成正比;通过Fluent对液晶玻璃基板气浮支承系统进行仿真,得到了不同的喷嘴孔间距下的载荷分布以及玻璃基板最大位移处受到载荷的准确值,从满足玻璃板最大位移要求、气膜面的压力分布状况及经济性方面综合考虑得到气膜单元的通孔横向间距范围,给出了采用气浮支承传输的液晶玻璃基板光学检测仪器的喷嘴布置参数,即喷嘴的合理间距应处于20~25mm之间。