<正> 前言 在应用薄膜光学中,滤光膜虽然不如增透膜和反光膜那样用得广泛,但它在整个光学领域却非常重要。光学、光谱学、激光、天文物理学等领域几乎离不开各样的滤光膜。滤光膜的设计和工艺标志着当今光学薄膜的水平。

智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题.

本文结合掩模缺陷自动检测系统的精密扫描工件台的特点,采用CAD技术对其动态特性进行实验模态分析,给出该系统的实验结果和识别的模态参数。

在分析原子力显微镜工作原理的基础上，详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展，并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。

微机电系统（MEMS）是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。

分析了利用万能工具显微镜测量工件时为了提高测量精度采用的原则,并做了一定的原理性分析。

通过对双频激光干涉仪的原理、结构、双频产生机理进行分析，阐述激光干涉仪在光刻设备中的实际应用，探讨激光干涉仪技术。

<正> 前言 晶体的定向是由与晶粒的形状和晶格所确定的晶向有关的晶体的各几何方向间的联系来确定的。硅晶体定向测量的方法很多,但相比之下,光学方法更具有特点。它使用起来简单、定向准确、可靠,能够处理任何半导体应用中的定向测量问题。

利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装，制定了基于熔焊的工艺路线，进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素，并对真空封装器件封装强度进行了检测．

wQ一502型白动外圆切割机是参阅瑞士T54型大片自动外圆切割机的设计特点，根据国内使用厂家的要求设计的一种新型切割设备。该机可广泛用于光学玻璃、磁性材料、石英、陶瓷、冰洲石等脆硬晶体材料的全自动大件切片。