带有空气，材料温度补偿器ＨＰ５５１０Ａ的激光测量系统中，以材料温度变化对测量，加工精度影响最大。分析了不同情况ＨＰ５５１０对材料温度的分辨率，指出ＨＰ５５１０在室温偏离国内外公认ＨＰ规定的２０℃恒温条件下，精度与分辨率可提高近一个数量级，并做试验证明了这一点。

介绍了一种２４８ｎｍ谱线投影光刻物镜光学设计结果，提出制造该镜头应解决的些技术问题。

本文论述了作为直接分步曝光机关键技术之一的自动调焦技术过程控制中,如何解决各种因素造成的调焦附加误差,获得了±400μm动态调焦范围、±0.13μm(3σ)的自动调焦精度。

ＱＰ—３０１Ｂ切片机电气设计电子工业部第４５研究所尚志伟引言ＱＰ—３０１Ａ切片机性能优异、生产量大，被广泛应用于陶瓷滤波器、延迟线等领域中。为了进一步提高整机性能，降低电气成本，提高可靠性和控制精度，对其电控系统进行换代成为必然。目前，在我国单片机应...

用于硅片台计量的二维测量干涉仪已被开发出来。它能同时测量线性位移和角位移，它被设计成置于密闭的环境中，减少了工作站质量，消除了热源，并能提供高分辨率和偏转速率。

HP公司推出的新产品5527A型双频激光干涉仪精密测量系统,采用数字控制HP-10936A伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路,取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍HP-10936A伺服轴板的功能,推导出具有前馈补偿PID控制器的传递函数表达式,分析PID根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响,介绍控制器的调试方法,以及采用HP-3562A动态信号分析仪,可实现伺服轴板的快速调试,给出闭环位置控制系统的控制程序。

本文介绍美国HP公司生产的双频激光测量系统以及在IC加工设备中的应用,并对采用该测量系统时应注意的问题进行讨论。

ＱＰ—５０１型石墨内圆切片机电子工业部第４５研究所田惠兰，刘文平金刚石是自然界最硬的物质，它具有很多优良的特性。但是，由于它在自然界中含量极少，一直未能得到充分利用。随着科学技术的不断发展，我国于１９６３年成功地研制出了国内第一颗人造金刚石。人造金刚...

阐述贴片机视觉系统的基本构成及实现原理.介绍了图像处理技术在其中的应用,并讨论了针对Chip元件的定位算法.

介绍了印刷压力控制对印刷质量的重要性,运用气动原理图从原理上重点分析了印刷头气动压力控制系统,并对其中的关键组成部分精密减压阀和电气比例阀的选型进行详细分析和计算;通过在印刷机上使用,该系统可满足印刷及精密压力控制需要。