介绍了集成电路模具跑料种类,分析了跑料缺陷产生的原因,并针对跑料总结提出了几种相应的纠正措施、改善解决方案,指出应从模具、油缸、传感器等各系统优化解决,为稳定塑封产品质量提供保证。

本文论述了大规模集成电路制造设备关键技术之一的激光测长定位补偿技术中，如何解决由温度、压强、湿度等因素造成激光测长定位中的误差，并定量的分析给予补偿。激光当量为λ／３２时，工作台的重复精度可达±０．２μｍ。

本文主要介绍了新型的光学对准系统的双光路曝光系统，对两部分光学系统在设计，加工，装高中所考虑的问题以难点和解决途径分析作了详细的论述，并且给出了设计结果。

阐述了砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的硬件构成和软件设计,在砂轮划片机上开发了一套自动对焦搜索算法,控制CCD、镜头沿光轴移动以实现焦距的自动调节。在软件设计上采用了图像处理手段实现镜头聚焦位置的自动搜索和评价函数对图象清晰度的评价,并在砂轮划片机的现场测试中证明了此种方法的可行性。

由于液压挖掘机经常启动、制动,造成其负载变化大、作业工况复杂等问题,在实际的工作运动中存在不少环节的能量损失。资料显示,工程机械很大部分的故障都来自液压系统,一般系统中考虑溢流时的控制,导致挖掘机的能量损耗还是很大,采用压力切断功能是为了消除挖掘机系统过载时的溢流损失,使泵输出压力在超过压力切断设定点压力时,能进一步将泵排量降低,使液压系统减少了溢流损失。

介绍了MEMS器件的发展历史,国内外研究和应用现状,对国内外差距进行了比较,给出了MEMS 器件今后的一些发展趋势.同时,提出了推进MEMS 器件产业化的建议.

湿法清洗制程是影响集成电路芯片良率的重要因素,气动液体隔膜阀是湿法装备中核心零部件之一。为了解决阀门的生产问题,以集成电路用超洁净气动液体隔膜阀为例,对其结构工作原理和关键密封件进行了论述,并基于氟塑料从原料、结构设计与优化、加工工艺和产品性能四个方面分析了超洁净气动液体隔膜阀生产需要解决的问题,同时也对未来同类阀门的设计指明了方向。

印刷头装置是丝网印刷设备的核心执行部件,印刷头压力输出的控制精度直接影响着印刷图形线条的膜厚均匀性、线条饱满程度、填孔质量等,对两种印刷头机械结构、压力输出控制方式进行研究,对比两种印刷头装置的性能,分析各自的优势及缺点。

某些气动机构在特定的工作环境下,不能安装复杂的缓冲装置,却要求能够平稳、可靠地进行缓冲控制。为此采用了气缸运动形成末端排气节流的方式对气动机构高速运动进行缓冲控制,通过实际使用确定了控制参数对机构缓冲效果的影响以及合适的调节范围。

详细阐述了液压系统泄漏的原因,从系统设计、密封件选择、制造装配、油液污染等方面,指出了防治系统泄漏应注意的各个环节;提出了液压系统泄漏故障的处理方法。