介绍了集成电路模具跑料种类,分析了跑料缺陷产生的原因,并针对跑料总结提出了几种相应的纠正措施、改善解决方案,指出应从模具、油缸、传感器等各系统优化解决,为稳定塑封产品质量提供保证。

带有空气，材料温度补偿器ＨＰ５５１０Ａ的激光测量系统中，以材料温度变化对测量，加工精度影响最大。分析了不同情况ＨＰ５５１０对材料温度的分辨率，指出ＨＰ５５１０在室温偏离国内外公认ＨＰ规定的２０℃恒温条件下，精度与分辨率可提高近一个数量级，并做试验证明了这一点。

介绍了一种２４８ｎｍ谱线投影光刻物镜光学设计结果，提出制造该镜头应解决的些技术问题。

本文论述了作为直接分步曝光机关键技术之一的自动调焦技术过程控制中,如何解决各种因素造成的调焦附加误差,获得了±400μm动态调焦范围、±0.13μm(3σ)的自动调焦精度。

ＱＰ—３０１Ｂ切片机电气设计电子工业部第４５研究所尚志伟引言ＱＰ—３０１Ａ切片机性能优异、生产量大，被广泛应用于陶瓷滤波器、延迟线等领域中。为了进一步提高整机性能，降低电气成本，提高可靠性和控制精度，对其电控系统进行换代成为必然。目前，在我国单片机应...

用于硅片台计量的二维测量干涉仪已被开发出来。它能同时测量线性位移和角位移，它被设计成置于密闭的环境中，减少了工作站质量，消除了热源，并能提供高分辨率和偏转速率。

HP公司推出的新产品5527A型双频激光干涉仪精密测量系统,采用数字控制HP-10936A伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路,取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍HP-10936A伺服轴板的功能,推导出具有前馈补偿PID控制器的传递函数表达式,分析PID根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响,介绍控制器的调试方法,以及采用HP-3562A动态信号分析仪,可实现伺服轴板的快速调试,给出闭环位置控制系统的控制程序。

由于液压挖掘机经常启动、制动,造成其负载变化大、作业工况复杂等问题,在实际的工作运动中存在不少环节的能量损失。资料显示,工程机械很大部分的故障都来自液压系统,一般系统中考虑溢流时的控制,导致挖掘机的能量损耗还是很大,采用压力切断功能是为了消除挖掘机系统过载时的溢流损失,使泵输出压力在超过压力切断设定点压力时,能进一步将泵排量降低,使液压系统减少了溢流损失。

ＱＰ—５０１型石墨内圆切片机电子工业部第４５研究所田惠兰，刘文平金刚石是自然界最硬的物质，它具有很多优良的特性。但是，由于它在自然界中含量极少，一直未能得到充分利用。随着科学技术的不断发展，我国于１９６３年成功地研制出了国内第一颗人造金刚石。人造金刚...

wQ一502型白动外圆切割机是参阅瑞士T54型大片自动外圆切割机的设计特点，根据国内使用厂家的要求设计的一种新型切割设备。该机可广泛用于光学玻璃、磁性材料、石英、陶瓷、冰洲石等脆硬晶体材料的全自动大件切片。