介绍了一种以保持杠杆处于平衡位置为测量前提,以衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统的表面轮廓综合测量仪.重点论述了该仪器的整体结构,测量原理,以及衍射光栅干涉位移测量系统的工作原理.

通过对真三轴仪的机械结构及实验要求的分析，确定真三轴仪测控系统的总体设计方案．在研究了检测系统设计的基础上，针对传感器输出信号微弱问题，采用仪表放大器和低通滤波等电路，有效抑制干扰，提高了信号采集精度．采用具有多通道AD转换和数字量输出以及脉冲输出的USB数据采集卡，实现了检测信号的数据采集及其加载系统的控制．采用Visual C＋＋编程语言，完成系统初始化、数据采集、数据处理、加／卸载控制以及典型实验控制程序的设计．此外，系统模块化功能设计，有利于系统功能的扩展．

论述了机器视觉测量系统中摄像机方位元素标定的基本原理、物镜系统畸变参数以及系统中其他误差处理的基本思想.在三坐标机上测出标定块上各孔心在标定块板面的二维坐标通过移动标定块产生标定点列的另一维坐标经角度变换采用优化方法求取摄像机的各参数并经验后补偿校正提高了精度