文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法.通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应用,论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值.

本文综述了气压伺服应用情况、发展概况、存在的问题、气液连动的重要性及发展概况。