本文介绍一种用于测量监视重型机械运行时，桥梁上经过载重火车时所承受的最大冲击力值的仪器。该仪器内的峰值保持电路能跟踪记录大于２ｍｓ宽的冲击峰值。

文中叙述了该位移检测器的工作原理，优点和各种应用场合，并介绍了它的主要技术指标，关键部件及技术要点。

针对纳米定位平台的构型和定位精度问题，采用体硅加工技术成功地研制出了一种基于单晶硅并带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台，定位平台采用侧向平动静电梳齿驱动。利用力电耦合和能量守恒原理分析了静电致动器的致动机理，对定位平台的主要失效模型、静态和动态特性进行详细建模分析，证明了静电梳齿力电耦合所导致的侧壁不稳定以及驱动器的最大稳定输出位移，给出了平台稳定工作条件下梳齿间隙、梳齿初始交错长度以及复合柔性支撑梁的弹性刚度比之间的关系。动态分析时考虑空气阻尼对平台的影响，给出了平台最大运行速度、位移及动态条件下的临界驱动电压并把分析结果应用于平台闭环控制。实验结果表明：驱动电压30V时，平台稳定输出位移达10μm，机械稳定时间仅为2．5ms。

针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法。采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1μm,重复检测精度为±0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号。采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位。实验结果表明：当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5μm,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性。

研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台，建立了工作台的简化模型，并利用结构力学理论推导出工作台沿x、Y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位工作台固有频率及沿x、Y方向刚度的试验测试，并结合解析方法和有限元方法对微定位工作台设计刚度及动力特性进行分析验证。有限元分析表明：当工作台的直角平板柔性铰链长度较小而铰链宽度较大时，其刚度、频率及驱动力较高，铰链根部应力集中也较严重。通过改变柔性铰链的特征参数，可达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的，并提出了一种优选微定位工作台柔性铰链参数的简易方法。

根据惯性约束核聚变（1CF）中靶定位的要求，设计了一种靶定位机构，分析了其工作特点，并使用Ansys对关键部件进行静力学分析、模态分析。最后，根据分析结果验证了结构设计的合理性和可靠性，并为进一步结构优化提供了基础。