为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度，设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构，从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差，设计了误差消除机构；经有限元仿真分析证明：所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力，有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响。分析了形状加工误差对加速度计性能的影响，为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障。

讨论了一种多梳齿力平衡式微机械加速度计表头系统工作原理。因加速度计制造中存在的间距不对称,提出通过调节正负反馈电压比的方法来减小输出非线性误差,并得到了调节的约束关系式。通过体硅深宽比刻蚀和微键合工艺制造了加速度计并进行了封装,闭环电路实验测试得到在未修正系数前,加速度计在量程为-60～65 g时最大非线性误差为-0.8%,修正后满量程最大非线性误差为0.08%。试验结果与理论分析能很好地吻合,验证了方法的有效性。

本文详细介绍了晶闸管的在高压软起动器中的工作原理、选型及其保护。