介绍了一种可用于微流体操作的压电驱动式无阀微泵，设计了微泵结构并制作了样机。采用ANSYS软件进行有限元分析得到微泵的最佳工作频率。搭建了实验系统并做了相关实验，得到了微泵输出流量与驱动频率及电压的关系曲线。实验结果表明，无阀微泵具有结构简单，造价低和传输稳定等优点，适用于微流体操作。

介绍了一种新型二维压电光学扫描器的制备和工作原理,并利用有限元模型对二维压电光学扫描器作了振动模态的分析,最后采用激光多普勒干涉仪测量了二维压电光学扫描器的扫描频率和振动特性。实验表明,二维压电光学扫描器仅用2个双压电晶片驱动反射镜实现二维图像扫描,其器件加工简单,结构设计合理,同时适用于驱动器领域,实现二维驱动。

针对机床中重要的运动结合部——直线滚动导轨的刚度进行理论分析,提出一种直线滚柱导轨静刚度计算的方法。推导了在垂直力、水平力和转矩联合作用下直线滚柱导轨受力变形的基本方程,应用赫兹接触理论建立了承载和变形的关系;利用该分析方法对某商用导轨的刚度特性进行了分析和数值计算。实例计算验证了理论分析和计算软件的正确性。

作为一种重要的非注射给药途径,雾化吸入治疗方法具有起效快,药物毒、副作用小等特点,因此被越来越广泛地采用。基于压电驱动喷墨打印机工作基本原理,利用微机械加工技术,研制了一种压电驱动微喷雾化器。流量、雾粒的直径和速度是微喷雾化器的重要指标,文中采用相关的仪器分别对这些指标进行了测试。由测试结果可知,微喷雾化器产生的雾粒的直径和速度分布集中,且雾粒直径和速度比较适合于雾化吸入治疗,可能成为一种重要的雾化吸入治疗装置。