分析了两类柔性微动直线导轨的结构特点，提出一种以刚度比指标来综合衡量柔性微动直线导轨导向性能的方法。基于Castigliano（位移）第二定理推导了计算两类柔性微动直线导轨不同方向静刚度的解析表达式。对两类柔性微动直线导轨的设计实例进行分析，结果表明其中一种具有叠形支链的柔性微动直线导轨具有更好的导向性能。该文方法和结论可为柔性微动直线导轨的选型与设计提供参考。

为评价超精密工作台自标定过程中由随机测量误差引起的标定不确定度，提出了基于Monte Carlo模拟的自标定不确定度定量评价方法。该方法以自标定算法的最大不确定度放大倍数为评价指标，通过根据算法输入参数联合概率密度函数的大量随机抽样，以及对算法输出样本的统计来完成。仿真表明：该方法具有较好的通用性及可靠性，可在自标定方案设计阶段，有效地评价所使用算法的合理性，这对于超精密工作台自标定算法的设计及选择具有指导意义。