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压电双晶片型微位移放大机构研究

作者: 张斌 李士进 贡玉杰 王德昌 来源:热处理技术与装备 日期: 2024-05-23 人气:15
压电双晶片型微位移放大机构研究
本文主要研究以压电双晶片作为驱动元件,由三角放大机理构造的柔性铰链机构作为位移输出的微位移放大机构。通过理论计算、建模等对微位移放大机构进行设计;制作了微位移放大机构的样机,并进行了实验测试。对得到的测试数据进行分析,得出了结论:微位移放大机构的行程为0~77.8μm,放大倍数约为6.2倍。
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