微机电系统被普遍认为是一项面向２１世纪的可以广泛应用的新兴技术，作为其应用的微型仪器，具有传统仪器无可比似的优势。从微型仪器入手，分别介绍了其概念，特点和市场应用，并在最后阐述了对微型仪器的几点认识。