利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装，制定了基于熔焊的工艺路线，进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素，并对真空封装器件封装强度进行了检测．

通常采用的多次掩模光刻和离子束刻蚀制作微透镜阵列的方法不但制作效率低，而且易产生较大的制作误差。提出了一种在硅基底聚合物薄膜上热压制作微透镜阵列的工艺方法，并利用自制的热压印设备进行了热压制作衍射微透镜阵列的试验，讨论了影响压印精度的温度和压力等工艺参数，对压印的衍射微透镜阵列进行了轮廓测试和部分光学性能测试。测试结果表明，压印制作微透镜阵列的复形误差小于10％，衍射效率高于90％，为高效率低成本制作微透镜阵列提供了一种新的方法。

简要介绍了相干布局数囚禁（CPT）原子钟的实现机理，对构成原子钟系统的碱金属腔及其制作方法进行论述。在对几种不同的碱金属腔制备技术对比的基础上，研制成功了原子钟腔体的专用键合设备，并成功进行了Rb腔的制作，Rb腔测试结果表明：腔体键合质量良好，封装入的Rb元素较纯净，可用于原子钟系统。

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.

提出一种采用热压印技术制作微透镜阵列的方法．将聚合物加热到其玻璃转化温度以上，利用预先制备好的模板在适当的压力下压向聚合物样品，保持压力直到聚合物温度降到玻璃转化温度以下，将模板移去后，模板上图形便转移到样品表面．根据热压印工艺要求，研制了一台热压印设备，并利用这台设备制作了单元口径大小为40μm，单元之间间距为60μm的256×256单元8位相台阶衍射微透镜阵列．制作的微透镜阵列SEM图表明图形台阶清晰、各单元一致性好．光学性能测试表明制作的微透镜阵列聚焦的三维光强分布集中，具有较高的峰值．从制作工艺可以看出，利用热压印的方法制作微透镜阵列工艺简单，对制作设备要求不高，为实现低成本、高分辨率、大批量制造微透镜阵列等器件创造了条件．

分析了常用的产品虚拟展示技术及设计工具，提出了Web环境下动态交互式3D浏览的具体方法。在Web浏览器端，通过ActiveX控件显示产品的三维模型和二维工程图，允许旋转、平移、缩放等操作。同时通过调用Solid Edge等三维CAD软件的二次开发接口，实现产品的在线驱动。最后，利用ASP．NET技术开发了一个工业产品虚拟展示的网站。

针对传统病房监护系统中存在的弊端,提出一种利用无线传感器网络（WSN）构建病房监护系统的设计方案。利用TI公司的ZigBee单芯片解决方案CC2430和适量外围电路设计传感器节点,ST公司的STR912处理器及适量外围器件设计中心控制节点,结合红外收发模块实现对患者房间级的定位。采用TI公司的ZigBee协议栈作为WSN节点软件平台,嵌入式实时操作系统μC/OS-II、TCP/IP协议栈LwIP构建网关软件开发平台,实现了利用TCP/IP模块进行数据的可靠传输以及链路维护等功能。

进出口危险化学品运输是国际货运的重要组成部分,因其特殊的物质结构和理化特性,通常具有毒害、腐蚀、爆炸、燃烧、助燃等性质,如果使用的运输包装不科学,会对人体、设施、环境等造成危害。为充分保障危险化学品运输安全,除需考虑产品的主危险性、次危险性和建议包装类别外,还应考虑挥发性液体的沸点和饱和蒸汽压等物理化学性质。本文通过实验检测和理论计算等方式,对《危险化学品目录》(2015版)中液态危险化学品纯净物的沸点和饱和蒸汽压数据进行试验、整理、计算和分析,找出需要特别关注的挥发性液态危险化学品,以期为相关企业选择合适的运输包装提供数据基础和理论支持,有效保障危险化学品运输安全。

人机协同操作是机器人研究的热点。基于自主搭建的用于人机协同操作的小型Delta并联机器人,对其进行了系统地理论建模及抓取实验研究。建立了系统的运动学约束方程,推导出机构的运动学正逆解方程,并在此基础上利用虚功原理建立系统的简化动力学模型。在工作空间内对末端进行抓取轨迹规划。为检验系统的可行性,搭建实验系统进行抓取实验研究,实验结果表明了该小型Delta机器人系统的可行性,为后续人机协同操作奠定理论和硬件基础。

由弹性材料制成的气动多腔室型软体驱动器可以通过简单的控制产生复杂的运动。提出并设计了0°PN和60°PN两种多腔室仿生章鱼爪软体驱动器。0°PN软体驱动器能够进行二维弯曲运动,60°PN软体驱动器在0°PN的结构基础上更改腔室角度,能够实现三维空间的弯曲和扭转,形成螺旋结构。使用Abaqus软件对软体驱动器进行有限元分析,得到两种软体驱动器的气压-位移变化曲线、气压-末端输出力变化曲线。利用模具浇铸法制作0°PN和60°PN软体驱动器,并开展两种软体驱动器在不同气压下的弯曲试验和末端输出力的测量试验,实验与仿真结果一致,结果表明60°PN软体驱动器的气压承载能力提高1.5倍,末端输出力提高1.8倍。