对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面形信息。利用GLAD软件进行仿真,模拟了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图,并利用相位展开方法,读入干涉图样,进行工件的面形重构,获得了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后的工件面形,分析了重构面形失真的原因。

多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.通过优化设计,入射角为45°,在1285～1345 nm之间p,s波获得了270°±0.15°的相移和99.5%以上的反射率.对使用的膜系进行了每层光学厚度的误差分析.用离子束溅射技术制备相位延迟膜,在大气中对样品进行不同温度的退火,用分光光度计测试了光谱特性和用椭偏仪测试了相位特性.结果表明,未退火的样品在相应波段获得了267.5°±O.5°的相移和99.6%以上的反射率;根据拟合分析,最外层的误差和折射率与设计值的偏差是发生相移偏小的主要因素;随着退火温度的升高、折射率变小和物理厚度变大,相移将变小.

为了消除超声回波的起伏误差,提高超声测距的准确度。在分析了超声测距系统的信号放大相移误差和幅度起伏误差的基础上,提出了采用固定放大器的闭环增益和回波峰值校准技术消除了信号放大的相移误差和幅度起伏误差的方法,并采用数字电位器实现系统的自动增益控制,改善了回波信号的质量。结果表明：该方法提高了系统测距的稳定性和准确度。

在光栅投影测量的相位计算中,采用Gray编码和相移相结合的方法,并针对当前光栅投影测量中相位计算精度不高的问题,提出一种新的相移方法.与传统相移方法相比,该方法采用新的投影光栅光强函数.考虑到光栅投影测量中可能出现的标定误差、投影光非正弦模式以及其他干扰因素,在该函数中加入对这些干扰的纠正值,从而减少由这些干扰产生的不利影响,进一步提高投影光栅和对象测量的精度.通过对邻近点插值获得的投影光栅,条纹精度可以达到亚像素级.对实际测量获得的投影光栅图像的处理实验,证明了该方法的可行性和先进性.

采用正弦光栅调制参考光对物体各个状态进行记录，在再现检测设计了一种偏振片编码两束重现参考光，两个通道的探测系统，对全息图的再现实了两个采集值的同时记录，因而实现了动态测量以及三维测量。

本文介绍一种便携式数字散斑测振仪，该仪器具有全场同时测量，灵敏度高，抗干扰能力强和完全自动定量分析的优点，可广泛应用于高精度机械的振动特性分析。

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.

提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法，由两根光纤分别传输参考光和测试光，利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比，该方法结构相对简单，误差来源少,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面，而是由光纤提供高精度的参考波面。

为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜, CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件.介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术.利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构.结果表明该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2 nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景.

采用π网络零相位法测量石英晶体串联谐振频率时,π网络中的分布参数会在π网络中引入相移,从而对石英晶体串联谐振频率的测量精度产生较大影响.采用补偿网络并适当选取补偿器件,比如电阻、电感和电容的串联或并联组合等,可以提高串联谐振频率的测量精度至±2 ×10-6范围内.实验中使用的电阻、电感和电容都是定值器件,如果全部换用可变器件,则可能更加精确地确定补偿器件并获得更好的实验结果.