微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象，需要满足定位精度高，稳定性好，响应速度快，控制方便的要求,柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中．以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象，通过实验和ANSYS有限元仿真分析对微夹钳的机械性能进行了分析，发现微夹钳端部的输出位移与输入电压基本呈线形关系．通过仿真分析探讨了柔性铰链结构尺寸变化对微夹钳性能的的影响．

提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型。考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可进行其模态分析及动态频率特性的理论研究。利用自行设计制造的在线动态测试机构,测试了V型电热硅微致器在不同激励电压驱动下的响应输出,结果表明其位移输出也是随交变驱动电压的变化而非同步地发生变化。

为提高绝对式双参数感应涡流传感器的测量精度，以实现单机多参数测量，对影响测量精度的试件温度进行了研究。建立了圆柱导体温度检测数学模型，设计了检测方法。实际检测了铜和铝两种棒材，将测得的结果代入理论计算公式，得到它们的理论温度值。与实测温度相比较，两者间误差很小，验证了该理论在温度检测方面的有效性。