本文介绍了二元光学元件制作的基本情况，国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术，给出了导轨、传动系统、回转轴系、调焦伺服机构的主要技术指标和完成情况。另外还介绍了临界角法的调焦原理及实现光学调焦的调焦机构。

基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作 过程。其中包括振幅模母版的制作和掩模图形的转移两部位。针对制作的２５×２５扇出的Ｄａｍｍａｎｎ光栅，给出了实测结果。