针对实验室的差分电容变化量为fF量级、频带宽度为0-20kHz的电容式加速度计,设计了一种可以有效减少噪声、失调电压和寄生电容影响的读出电路。该电路由开关电容积分电路、低噪声运放和单位增益采样保持电路组成。在0.5μm 2P3MCMOS工艺下完成该电路设计,通过仿真结果表明,该电路的输出电压与差分电容变化量成很好的线性关系,可以检测差分电容变化量达到fF量级。

针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式，提出了利用原子力显微镜（AFM）探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真，电场分析表明间距100μm加1kV高压时的AFM探针周围场强在0．32—62．4V／μm间，验证了利用其产生电晕放电的可行性；通过实验观察了电晕放电现象及其规律，测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线，为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。