通过改进重构凸轮X-C轴联动加工模型,建立X-C轴联动加工通用补偿模型;采用最小二乘拟合还原数据曲线并得到规则化输出,结合延迟补偿模式,实现凸轮加工的在线检测补偿功能。由此可解决直线和转角反馈无法补偿X-C轴联动同步误差的问题,有效降低X-C轴联动加工过程中同步误差带来的影响,提高了凸轮的加工精度和质量,为凸轮加工在线检测补偿提供可行方案。

磁通门磁力仪参数受温度影响明显,直接影响传感器测量精度,需要研究补偿方法,提高测量精度。采用无磁高低温试验箱测量磁通门传感器温度特性;提出基于径向基神经网络的温度误差补偿方法,分别建立磁通门磁力仪零漂误差补偿模型和刻度因子误差补偿模型。结果表明,径向基神经网络能良好逼近磁通门传感器参数的温度特性;与BP神经网络相比,径向基神经网络在零漂补偿中训练时间更短,精度更高,重复性更好,零漂误差的抑制能力更强。补偿后,磁通门磁力仪零漂误差从7.105 5 nT减少到0.766 1 nT;刻度因子误差从6.3E-3减少到7.2E-5;测量值温度误差由213.6 nT补偿到9.1 nT。提出建立通用的温度补偿模型,在不同磁场环境下经过反复测试,采用训练过的模型补偿后,温度误差均降低一个数量级,提高了磁通门磁力仪温度性能和精度。

采用三坐标测量仪进行高速测量时，由于受附加惯性力及自身重力的影响，机体会变形，从而导致动态误差。对三坐标i贝lI量机的动态误差进行理论分析；利用Solidworks Simulation有限元分析方法对移动桥进行受力变形分析；在z轴静止状态下，推导出滑架沿Y轴方向加速（减速）和匀速的运动状态下动态误差补偿模型。仿真结果表明：各运动状态下的动态误差有效降低，为提高三坐标测量机的测量精度奠定基础。

在对直线运动坐标定位精度的干涉测量原理和方法进行深入研究的基础上，对干涉测量的误差进行了分析。采用激光干涉法检测了混联机床X轴的定位精度和重复定位精度，并作出了基于测量数据的混联机床X轴单向均位偏差特性曲线，推导出了X轴正、反向运动定位误差的数学模型。利用最小二乘法拟合得到了机床直线运动坐标目标位置的均值误差补偿数学模型，提出了一种直线运动坐标定位精度的激光干涉测量方法和误差补偿模型的建模方法，并对X轴的定位精度进行了补偿。