提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法（ECR）在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜，研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时的频率偏离特性。该装置具有灵敏度高、动态性能好和操作方便的优点，有广阔的应用前景。

采用两片由压电系数d11转换的xy切型压电石英晶片构成单元晶组，研究了多次压电效应对压电传感器的影响，通过与传感器并联电容的方法使其不发生多次压电效应，得出了多次压电效应对传感器静态灵敏度的影响，实验结果表明，在0．1μF的并联电容下，传感器的灵敏度从4．00pC／N增大到4．07pC／N，提高了1．75％，进一步分析表明，传感器灵敏度发生变化的实质是多次压电效应影响了压电系数，同时探讨了灵敏度提高后多次压电效应对弹性系数以及传感器刚度和固有频率的影响。多次压电效应的研究为压电类传感器性能的提高提供了一种新方法。

利用石英晶体微天平传感器开发了一种新的油品粘度监测方法，阐明了石英晶体微天平传感器在油品粘度监测中应用的基本原理，研制了适合油液环境的传感器探头以及振荡电路，实验结果表明，传感器的频移值与润滑油粘度的平方根值有良好的线性关系,利用石英晶体微性关系，利用石英晶体微天平传感器对油品粘度进行监测是很灵敏的，因此适合用于油品在线粘度的分析。

利用液体阻尼效应压电石英晶体传感器原理,开发了一种用于血浆粘度测量的生物传感器.阐述了该传感器的检测原理,同时介绍了探头和振荡电路的设计方法.实验表明,传感器的最大频移值与血浆粘度和密度的乘积的平方根值存在很好的线性关系.与现行的方法相比具有简单、灵敏、在线等优点.

本文从我国高速动态车辆称重技术现状入手，指出我国高速动态车辆称重技术及装备应该发展的方向以及重点实施措施，最后提出了目标参数的展望。

介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果.讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高TiO2薄膜折射率稳定性对于应用石英晶体膜厚监控技术的重要性.

本文讨论了新型石英晶体粘度测量仪的工作原理，介绍了探讨头设计的方法以及信号采集和处理系统组成。实验表明，这种新型粘度测量仪适于低粘度测量。

在分析AT切石英晶体谐振器力敏特性及晶体内振动波传播特点的基础上，研究了同一晶体基片上的多个谐振器的力敏特性。根据共模抑制原理，将同一晶体基片上不同位置的谐振器对应的谐振频率作混频处理，并以差频形式输出，以此消除相关干扰因素对谐振器输出频率的影响。实验结果表明，AT切同基三电极石英晶体谐振器差频输出的力敏特性是传统的单基单电极谐振器力敏特性的1．3倍；同基四电极谐振器的力敏特性则略小，但可同时获得两组输出；同基多电极谐振器的频率稳定性均可达10^-10。的量级；在-50～60℃内，相对频率变化约为±5×10^-6。

为了测试温度对1310nm波段石英晶体旋光性的影响,采用高低温试验箱作为温控器,设计了双光路检测系统对石英晶体在1310nm波段旋光性的温度效应进行测试研究。实验结果表明,在-10～20℃温度范围内,对于确定波长的光,随温度的升高,石英晶体的旋光率增大;在25～50℃温度范围内,随温度的升高旋光率减小;对于同一温度,波长越长旋光率越小。根据测试结果求解Sellmeier方程得出了Sellmeier方程的常数与温度的关系式,从而可以得出任意温度下不同波长对应的石英晶体的旋光率。

微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术.其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术.该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术,先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术.最后给出用LIGA技术和牺牲层技术制作微加速度传感器的例子.