为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼．设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数，通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层．根据Reynolds方程，可知当硅一玻璃静电键合间距d=2．25μm时，复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比．

介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器,详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法,利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结构进行了模态分析,采用振动台标定与低频校准装置测试相结合的方法对水听器进行测试,并给出了检测单元的加速度频响特性曲线和声压灵敏度曲线,以及矢量水听器在水下测试的接收灵敏度曲线和指向性图的测试结果。通过此实验方法,不仅验证了该矢量水听器设计的合理性,而且验证了它适用于低频检测,应用于水声探测具有一定的可行性。实验证明,该矢量水听器的接收灵敏度在500Hz时达到-189.6dB（0dB=1V/μPa）,并具有良好的“8”字形的指向性。

提出一种小型化新型压阻式矢量水听器的设计、制作工艺方法。详细分析通过混合集成工艺技术制作的压阻式矢量水听器的性能指标：灵敏度、频率响应。实际设计、制作混合集成型压阻式矢量水听器并进行测试。得出采用本工艺制作出外形尺寸只有φ22mm×40mm的三维矢量水听器具有良好的三轴正交性，每轴向具有良好的“8”字型指向性，且具有良好的低频特性，声压灵敏度可达到-190dB。

从声学的角度对压阻式加速度计的阻尼给予理论上的分析，从辐射阻及声吸收两个方面阐述了阻尼的物理过程、从而确定影响阻尼的物理因素，为加速度计的阻尼调整提供理论依据。

采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构；通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处，研制出量程为±2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计．加速度计具有较高的测量灵敏度和精度，满量程输出为126．97mV／2V，静态精度为0．86％FS．

本文介绍了带隔离膜片压阻式变送器的工作原理、结构形式、技术性能及使用安装方法。

在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量，例如，分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况，既需要测试发射过程中上万个g的加速度，也需要测试飞行过程中几个g的加速度．在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求．针对类似的需求，介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计，四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g．除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外，还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题．线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度，因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值．