以激光ＣＤ光学头为基础，提出了物自聚焦伺服微工作原理，并以此原理试制测微仪。利用半导体激光器作光源、ＣＤ光学 作高精度位移检测传感器，并利用高分辨率、高动态响应的压电晶体作微位移驱动源，建立实时闭环反馈的自聚焦伺服系统，由单片机进行控制，实现自动跟踪测量。系统首先在±５００μｍ范围内进行寻焦搜索，实现光学头聚焦于被测表面，随后立即进入闭环聚焦伺服，对微位移进行检测。可获得±０．１μｍ以上的测量精度

本文介绍ＪＷ系列新型激光激光测微仪的结构，原理，特点，还介绍了利用该仪器在音箱质量检测，记忆合金伸缩特性等科研中对微振动及动态位移进行非接触测量的研究情况并对测量结果进行了分析。

介绍了自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统的硬件电路接口及监控软件的设计与实现技术。通过实验验证了控制系统的软、硬件设计符合测微仪的测量要求。